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刻蝕機(jī)可以代替光刻機(jī)嗎?為什么中國生產(chǎn)不了光刻機(jī)?

刻蝕機(jī)和光刻機(jī)有什么區(qū)別,刻蝕機(jī)可以代替光刻機(jī)嗎?為什么我國目前還不能生產(chǎn)出先進(jìn)的光刻機(jī)?光刻機(jī)的原理是什么?

2021-05-06
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匿名用戶

2021-05-06

  刻蝕機(jī)相對光刻機(jī)來說會比較容易些,光刻機(jī)是印上圖案的,刻蝕機(jī)要根據(jù)圖案刻蝕掉變質(zhì)的部分,留下剩余部分。

  刻蝕機(jī)就相當(dāng)于在光刻后使用腐蝕液將變質(zhì)的光刻膠腐蝕掉,這樣晶圓表面會顯出半導(dǎo)體器件和連接的圖形。

  光刻機(jī)就是利用化學(xué)反應(yīng)原理和物理刻蝕方法,將掩膜版上的電路圖形傳送到單晶的表面或介質(zhì)層上;電路設(shè)計(jì)圖案直接由光刻技術(shù)決定的。

  高端的光刻機(jī)不是一個國家在短時間內(nèi)可以造出來的,主要是它集合了全球最好的技術(shù)與人類的智慧,國外工程師稱一個零件調(diào)整了十年,ASWL總裁曾表示高端的光刻機(jī)永遠(yuǎn)不可能被中國模仿。

  但是任何一個一流工業(yè)強(qiáng)國都不可能單獨(dú)做出高科技工業(yè)產(chǎn)品,都是需要不同國家或是多個國家合作才能完成;比如說荷蘭靠自己也是做不出來的,還有美國、德國、英國、日本等多個國家的頂尖技術(shù)集合才能產(chǎn)出高端的光刻機(jī)。

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